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フェロー)とPatentix株式会社(所在地:滋賀県草津市、代表取締役:衣斐豊祐)は、共同で、次世代半導体材料として注目される「ルチル構造二酸化ゲルマニウム(r-GeO2)」をPhantomSVD(ファントム局所的気相成長)法によって、SiC上に製膜することに世界で初めて成功しました。  Patentix株式会社は、2022年12月に創業した立命館大学発の半導体ディープテックベンチャーです。共同創業者でありCTOを務める金子教授/RARAフェローが開発した新しいパワー半導体材料であるr-GeO2の半導体基板・パワーデバイスの研究開発を進めています。 この成果は、2023年9月18日~21日にポーランドのワルシャワで開催されている、ヨーロッパ最大の材料学会である「European Materials Research Society (E-MRS)」のFall Meetingで理工学研究科の清水悠吏(Patentix株式会社取締役兼務)により発表され、酸化物半導体パワーデバイスの開発で問題になっていた、基板の低い熱伝導率という課題に対して放熱性に優れたSiCを用いることで解決できる可能性を示す大きな成果となりました。また、金子教授/RARAフェローは招待講演者としてr-GeO2研究のこれまでの成果と今後の展望について講演を行いました。 1.概要  ルチル構造二酸化ゲルマニウム(r-GeO2)は、炭化ケイ素(SiC)や窒化ガリウム(GaN)と比べてさらに大きなバンドギャップをもつため、r-GeO2 によるトランジスタやダイオードは高耐圧、高出力、高効率(低損失)という優れたパワーデバイス特性を備える事が期待されています。r-GeO2 パワーデバイスの開発は日本が世界をリードしており、Patentix株式会社では2022年12月会社設立以降、r-GeO2 エピウエハの研究開発を進めております。  また、Patentix株式会社では、独自に開発したPhantomSVD(ファントム局所的気相成長)法を用いて製膜しており、PhantomSVD は、安全安価な原料を用いることができコストパフォーマンスに優れています。また、従来の霧(ミスト)状にした溶液を用いるCVD法とは異なる原理で結晶成長が可能であり、より安全・安心な薄膜合成が可能となります。 2.今回の成果及び今後の予定  立命館大学およびPatentix株式会社は、共同で、次世代半導体材料として注目される「ルチル構造二酸化ゲルマニウム(r-GeO2)」をPhantom SVD(ファントム局所的気相成長)法によって、SiC上に製膜することに世界で初めて成功しました。この成果は、2023年9月18日~21日にポーランドのワルシャワで開催されている、ヨーロッパ最大の材料学会である「European Materials Research Society (E-MRS)」のFall Meeting で理工学研究科の清水悠吏(Patentix株式会社取締役兼務)により発表され、酸化物半導体パワーデバイスの開発で問題になっていた、基板の低い熱伝導率という課題に対して放熱性に優れたSiCを用いることで解決できる可能性を示す大きな成果となりました。今後は、r-GeO2 薄膜の電気特性評価や膜中に存在する欠陥評価等を行い、高品質なr-GeO2 エピ製膜技術の開発を進めてまいります。 写真の説明:Si(111)/3C-SiC(111)上に成長したルチル構造r-GeO2 の写真。左端の未成長部は膜厚測定のためにマスキングした跡。 構造の説明:Si(111)基板上に製膜した配向3C-SiC 薄膜の上にr-GeO2 の製膜を行った。 関連情報 金子 健太郎 教授 研究者学術情報データベース 金子 健太郎 教授 RARAフェロー紹介ページ Patentix株式会社 ホームページ 関連記事 【shiRUto】野球の送球イップス症状を抱える方の3つの… 2024.04.30 西日本高速道路株式会社(NEXCO西日本)と包括的連携・協… 2024.04.24 【shiRUto】国内最大級の木造学舎「グリーンコモンズ」… 2024.04.15 NEXT 2023.09.25 TOPICS 地域の小水力発電所をよみがえらせる 研究 社会・地域連携 SDGs 衣笠キャンパス びわこ・くさつキャンパス 大阪いばらきキャンパス 講演会 シンポジウム 講義・講座・セミナー 2024 1月 2月 3月 4月 5月 2023 1月 2月 3月 4月 5月 6月 7月 8月 9月 10月 11月 12月 2022 1月 2月 3月 4月 5月 6月 7月 8月 9月 10月 11月 12月 2021 1月 2月 3月 4月 5月 6月 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